Měření tenké vrstvy

[kulikus]

Taková perlička - Kolik páry nadýchnu na jeden výdech na kovovou podložku při pokojové teplotě?

Instaluju měřák pro měření tenkých vrstev, tak jsem to zkusil.
Snímač je krystal 6MHz ve tvaru terčíku o průměru cca 14mm. Usazením vrstvičky materiálu se zvětší jeho hmotnost/tuhost a klesne frekvence, která je měřena na setiny Hz.
Na jeden pomalý rosný výdech klesne frekvence terčíku o 3kHz, což by (bez kalibrace) mohlo být 38 ug/cm2.
Po asi minutě, během které to schne, se frekvence vrací na původní hodnotu.

[sr71]

zajímavé, a k čemu konkrétně se to v praxi využívá, na měření vrstvy čeho?

[ZdenekHQ]

Není ta vrstva vydechnuté a následně vysrážené páry náhodou závislá na teplotě "terčíku"?

[Artaban001]

Ahoj. Viděl jsem podobnou aplikaci holýho piezoelementu, kdy dělali pokusy s nějakým snad "umělým nosem". Piezoelement na sebe vázal nějakou chemickou látku, která způsobila změnu rezonanční frekvence a tím se určovalo množství absorbované látky.
Nefunguje na podobným principu tzv "jódování krystalu" (když potřebuju snížit frekvenci sériově vyráběného krystalu), kdy se plnný jód naváže na stříbrný polepy na jodid stříbrný, tím se zvýší "hmotnost krystalu" a klesne mu kmitočet ?

[kulikus]

k čemu konkrétně se to v praxi využívá

Na měření tloušťky naprašované vrstvy kovu nebo polovodiče, s rozlišením 1 nm.

[jandu]

Fakt zaujímavé. Ale - po dosiahnutí výsledku - zostáava tá nanesená vrstva na tom sensoru, alebo sa odstraňuje? (teda ide o jednorazovú alebo opakovanú použiteľnosť?)

[kulikus]

Vrstva s každou depozicí materiálu narůstá, měření je pokaždé inkrementální tj. měří se jen změna. Krystal postupně nabývá na hmotnosti až se dostane na spodní hranici měřitelné frekvence.

[ZdenekHQ]

Měl jsem strach, že napíšeš, že postupně nabývá na hmotnosti, až se propadne do spodního patra...

[kulikus]

Těch měření zvládne obvykle stovky než se přiblíží z 6MHz na 5,5MHz.